清洗产品：

产品类型1，晶圆环，200只，每筐20圈，4.5小时

Product Type 2 – Wafer Cassette - < 2 per day, 2 cassettes per basket, 1.5 hours.

产品类型2–晶片盒- < 2每天，每筐2盒，1.5小时。

Product Type 3 – Magazine – 100 pcs per day, 8 magazines per basket, 5 hours per day.